프로브 핀의 전기적 , 기계적 특성을 다양한 항목의 평가 기능을 이용하여 측정하는 특성 평가 자동화 설비
CCC <ISMI,MAC>
Pin force
Deformation
Contact resistance
Life time <Touch down>
소스 미터 <4선식> / 3A (기본 장착 : keysight) _ 7A(Optional : keithley)
로드셀 / Resolution : 0.01g, accuracy : ± 0.02%
히터 / 가용 온도 > Max 150 ℃
Z 축 / Less than 1 ㎛ (moving)